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반도체공정개론

Jaeger, Richard C

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자료유형단행본
서명/저자사항반도체공정개론/ Richard C. Jaeger ; 이상렬, 명재민, 윤일구 공역
개인저자Jaeger, Richard C.
이상렬, 역
명재민, 역
윤일구, 역
발행사항서울: 교보문고, 2002
형태사항351 p.: 삽도; 24 cm
원서명Introduction to microelectronic fabrication
ISBN8970854916
일반주기 본서는 "Introduction to microelectronic fabrication. 2nd ed. c2002."의 번역서임
서지주기참고문헌과 색인수록
일반주제명Integrated circuits --Very large scale integration --Design and construction
분류기호621.381/73
언어한국어

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No. 등록번호 청구기호 소장처/자료실 도서상태 반납예정일 예약 서비스
1 901041 621.381 J22i 2002/ K 2관4층 일반도서 대출중 2020-11-06
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2 901040 621.381 J22i 2002/ K 2관4층 일반도서 대출가능
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출판사 제공 책소개

이 책에서는 미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 소개한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.또한 공정마다 이론적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 다루었으며, 각 장의 끝에는 읽는 사람들이 해당 내용을 쉽게 이해 할 수 있도록 돕는 문제를 수록하였다.

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